預處理部分主要包括：沙濾、活性碳塔(有的廠(chǎng)商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池)；一次純水處理部分主要包括：陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過(guò)濾器、紫外線(xiàn)殺菌器及多級反滲透；超純水處理部分主要包括：MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過(guò)濾器。
考慮到在向工藝設備輸送高純水過(guò)程中，輸水管道會(huì )對水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環(huán)系統。拋光循環(huán)系統主要以MB為核心，再加上超濾設備(UF)，以除去在向工藝生產(chǎn)線(xiàn)輸送純水的過(guò)程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。
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